代码：002962
半导体光学产品
通孔玻璃晶圆
技术规格
| Spacer Product Size（大孔产品尺寸） | 详情 |
|---|---|
| Material（材料） | D263T、BF33 等 |
| Thickness（厚度） |
D263T：0.2mm ≤ T ≤ 1mm BF33：0.2mm ≤ T ≤3mm |
| Size of hole（孔径范围） | 当 T ≤1mm 时，最小 40 μm |
| Through - hole taper（通孔锥度） | ≤ 0° - 2° |
| Aspect ratio（最大深宽比） | 最大 20:1 |
| Through - hole size tolerance (upper and lower surfaces)（通孔尺寸公差（上下表面）） | ±10μm |
| Roundness（圆度） | ≤ 15 μm |
| Chipping（崩边） | 激光诱加工后无崩边，刻蚀后崩边 ≤ 10 μm |
| Position tolerance（位置度公差） | 在 φ200mm 范围内 ± 10 μm |
代码：002962
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